| 发明名称 |
３Ａ族油墨及其制造及使用方法 |
| 摘要 |
本发明提供一种包含以下初始组份之3a族油墨：聚胺溶剂；3a族材料/有机物错合物；以及，还原剂；其中，该还原剂之莫耳浓度超过该3a族材料/有机物错合物之莫耳浓度；其中，该3a族油墨系安定的分散体，以及其中该3a族油墨系不含肼或 。本发明亦提供一种制备该3a族油墨之方法及使用该3a族油墨于基板上沉积3a族材料以用于多种半导体应用之方法，如于VLSI技术之矽装置金属化、半导体化III-V合金之生长、薄膜电晶体(TFT)、发光二极体(LED)；以及红外线侦测器。 |
| 申请公布号 |
TWI417353 |
申请公布日期 |
2013.12.01 |
| 申请号 |
TW099139872 |
申请日期 |
2010.11.19 |
| 申请人 |
罗门哈斯电子材料有限公司 美国 |
发明人 |
卡西亚 凯文;莫斯里 大卫 |
| 分类号 |
C09D11/00;C09D7/12;H01L21/208 |
主分类号 |
C09D11/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
洪武雄 台北市中正区杭州南路1段15之1号9楼;陈昭诚 台北市中正区杭州南路1段15之1号9楼 |
| 主权项 |
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| 地址 |
美国 |
