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发明名称
通气槽改良之溅镀靶材组成件及含有此溅镀靶材组成件之装置
摘要
一溅镀靶材组成件,包含具有某种组态的通气槽,以便在薄膜之物理气相沉积期间降低靶材之发弧。
申请公布号
TWI417407
申请公布日期
2013.12.01
申请号
TW096111914
申请日期
2007.04.03
申请人
普雷瑟科技股份有限公司 美国
发明人
圣皮尔 布兰奇;许正勋;罗伯特施
分类号
C23C14/34;C23C14/56
主分类号
C23C14/34
代理机构
代理人
林志刚 台北市中山区南京东路2段125号7楼
主权项
地址
美国
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