电沉积系统

摘要

具有三维堆叠结构的电沈积系统，包含用于接收晶圆的工厂介面，包含主框架传送机械手和多个置于其上的晶圆固持装置的主框架，多个置于主框架中的电镀单元，多个置于主框架中并低于电镀单元位置的清洗单元，多个置于主框架和工厂介面之间的热处理腔，与电镀单元和清洗单元相连的流体分配系统，主框架传送机械手在工厂介面、电镀单元、清洗单元和热处理腔之间传送晶圆。因此，本发明系统在扩展增加新的工艺单元时不需过多增加占地面积。