| 摘要 |
Изобретение относится к способу и испарителю (12, 14, 62, 64, 66, 68) для нанесения покрытия на подложку с помощью электрической дуги в вакуумной камере (10) во время электродугового напыления при низком давлении, причем вакуумная камера (10) имеет по меньшей мере один испаритель (12, 14, 62, 64, 66, 68), который включает в себя материал (20) мишени, трубопроводы (53, 54) для подвода реакционного газа, и вакуумный насос, причем испаритель (12, 14, 62, 64, 66, 68) с материалом (20) мишени служит в качестве катода, а внутренняя стенка (36) вакуумной камеры (10) в качестве анода, между которыми создается электрическая дуга. Согласно изобретению в качестве материала (20) мишени используется высокоплавкий металл для катализа, а давление в вакуумной камере (20) во время нанесения покрытия составляет по меньшей мере 0,5 Па, в частности по меньшей мере 3 Па, предпочтительно 5 Па. На подложке образуется слой из каталитически активного металла с высоким содержанием кислорода. |
