发明名称 Dielektrischer Abstandhalter für metallische Verbinder und Verfahren, um dieselben zu bilden
摘要 Elektronische Struktur mit einer Vielzahl von Verbindern, die aufweist: eine erste dielektrische Schicht; einen ersten Verbinder; einen zweiten Verbinder, wobei der zweite Verbinder von dem ersten Verbinder beabstandet ist und wobei die ersten und zweiten Verbinder oberhalb der ersten dielektrischen Schicht angeordnet und in einer Aussparung darin teilweise aufgenommen sind; einen ersten dielektrischen Abstandhalter, wobei der erste dielektrische Abstandhalter sich angrenzend an eine Seitenwand des ersten Verbinders befindet und wobei der erste dielektrische Abstandhalter sich zwischen dem ersten und dem zweiten Verbinder befindet; einen zweiten dielektrischen Abstandhalter, wobei sich der zweite dielektrische Abstandhalter angrenzend an eine Seitenwand des zweiten Verbinders befindet, wobei der zweite dielektrische Abstandhalter sich zwischen dem ersten und dem zweiten Verbinder befindet und wobei der erste und der zweite dielektrische Abstandhalter voneinander getrennt sind, mit einem ersten Spalt zwischen dem ersten und dem zweiten dielektrischen Abstandhalter; und eine zweite dielektrische Schicht, wobei sich die zweite dielektrische Schicht auf den ersten und den zweiten Verbindern befindet, wobei die zweite dielektrische Schicht auf dem ersten und dem zweiten dielektrischen Abstandhalter liegt und wobei die zweite dielektrische Schicht sich oberhalb des ersten Spaltes zwischen dem ersten und dem zweiten dielektrischen Abstandhalter befindet.
申请公布号 DE112007000966(B4) 申请公布日期 2013.11.28
申请号 DE20071100966T 申请日期 2007.05.01
申请人 INTEL CORPORATION 发明人 BOYANOV, BOYAN;HUSSEIN, MAKAREM A.
分类号 H01L23/522;H01L21/314;H01L21/768 主分类号 H01L23/522
代理机构 代理人
主权项
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