阵列基板及其制造方法、显示装置

摘要

本发明实施例公开了一种阵列基板及其制造方法，以及设有该阵列基板的显示装置，属于显示技术领域。解决了现有技术中GOA区域的边缘会形成向下开口的倒角，影响GOA区域中源漏极金属与栅极金属之间电连接的稳定性的技术问题。该阵列基板，包括显示区域和GOA区域，在所述GOA区域，从下至上依次形成有栅极金属、栅绝缘层、有源层、过渡层、源漏极金属，且开设有贯穿所述过渡层、所述有源层和所述栅绝缘层的过孔，所述源漏极金属通过所述过孔与所述栅极金属电连接；其中，所述过渡层的刻蚀速率大于所述有源层的刻蚀速率。本发明应用于OLED面板、液晶电视、液晶显示器、手机、平板电脑等显示装置。

主权项

一种阵列基板，包括显示区域和GOA区域，其特征在于：在所述GOA区域，从下至上依次形成有栅极金属、栅绝缘层、有源层、过渡层、源漏极金属，且开设有贯穿所述过渡层、所述有源层和所述栅绝缘层的过孔，所述源漏极金属通过所述过孔与所述栅极金属电连接；其中，所述过渡层的刻蚀速率大于所述有源层的刻蚀速率。