摘要 |
Двухспектральный фотоприемник, содержащий модули, состоящие из двух фоточувствительных элементов, двух многоэлементных фоточувствительных линеек, каждая из которых соединена соответственно с фоточувствительным элементом, при этом первая многоэлементная линейка выполнена чувствительной в одной области спектра, а вторая многоэлементная линейка выполнена чувствительной в другой области спектра, а модули расположены так, что фоточувствительные структуры, каждая из которых образована многоэлементными фоточувствительными линейками, чувствительными в одной области спектра, имеют вид правильных многоугольников, отличающийся тем, что первая многоэлементная фоточувствительная линейка соединена через индиевые столбики с первым фоточувствительным элементом и выполнена из алмазной пластины, покрытой полупрозрачной металлической пленкой, а вторая многоэлементная фоточувствительная линейка соединена через индиевые столбики со вторым фоточувствительным элементом и выполнена из алмазной пластины, покрытой полупрозрачной металлической пленкой, причем под полупрозрачной металлической пленкой второй многоэлементной фоточувствительной линейки в алмазной пластине создан ионно-имплантируемый слой на основе бериллия, а со стороны, контактирующей со вторым фоточувствительным элементом, в многоэлементной фоточувствительной линейки создан слой р-типа, легированный бором. |