主权项 |
一种高空间分辨双轴共焦图谱显微成像方法,其特征在于:1)采用双轴共焦显微的方式对被测样品(3)进行扫描,照明物镜(2)与采集物镜(7)对称分布在测量面法线(5)两侧,并且照明光轴(4)与测量面法线(5)的夹角为θ1(6),采集光轴(20)与测量面法线(5)的夹角为θ2(31),其中θ1=θ2;2)激发光经由照明物镜(2)聚焦到被测样品(3)上,激发出瑞利光和载有被测样品光谱特性的拉曼散射光,并被采集物镜(7)会聚到二向色分光系统(8),光束经二向色分光系统(8)分光后,拉曼散射光和瑞利光相互分离拉曼散射光透射进入光谱探测系统(19),瑞利光被反射进入共焦探测系统(15),数据处理系统(21)将获得的瑞利光信号拟合为共焦曲线(14),利用共焦曲线极值点与焦点位置精确对应的特性,通过极值触发来精确捕获激发光斑焦点位置的光谱信息,实现高空间分辨的光谱探测;3)单独处理获取的瑞利光的信号时,获得高空间分辨的三维尺度层析图像;单独处理获取拉曼散射光的信号时,获得光谱图像;同时处理获取的瑞利光和拉曼散射光的信号时,获得高空间分辨的微区图谱层析成像,即被测样品几何位置信息和光谱信息的“图谱合一”;4)依据共焦曲线极值点与焦点位置精确对应的特性,测量过程中可以实时对被测样品进行精确跟踪定焦,保证被测样品在整个测量过程中始终处于焦点位置,抑制环境温度和振动等因素对光谱测量的影响,从而提高测量精度。 |