发明名称 基于单频正交线偏振光的激光波长直接测量方法及装置
摘要 本发明公开了一种基于单频正交线偏振光的激光波长直接测量方法及装置。波长为λ<sub>x</sub>的待测激光经过偏振片、四分之一波片后形成圆偏振光,射向两套迈克尔逊干涉仪,分别形成水平偏振和垂直偏振分量的两路干涉信号;首先由PZT驱动器调制参考角锥棱镜往返运动,测得两路干涉信号的相位差<img file="DDA0000374470040000011.GIF" wi="120" he="56" />然后参考角锥棱镜静止,测量角锥棱镜移动一定位移ΔL,由双向计数模块测得水平偏振分量干涉信号的整周期数N;再次调制参考角锥棱镜测得此时两路干涉信号的相位差<img file="20131038464211000041.GIF" wi="136" he="65" />由<img file="DDA0000374470040000013.GIF" wi="478" he="80" />得出水平偏振分量干涉信号的小数变化量;根据位移ΔL和测得的整周期数N及小数ε,由计算机算出待测波长λ<sub>x</sub>。本发明的光路结构简单,不需要参考激光器,测量精度高,可实现对波长的大范围测量。
申请公布号 CN103411689A 申请公布日期 2013.11.27
申请号 CN201310384642.1 申请日期 2013.08.29
申请人 浙江理工大学 发明人 严利平;孙政荣;张岑;刘燕娜;周砚江
分类号 G01J9/02(2006.01)I 主分类号 G01J9/02(2006.01)I
代理机构 杭州求是专利事务所有限公司 33200 代理人 林怀禹
主权项 1.一种基于单频正交线偏振光的激光波长直接测量方法,其特征在于:(1)待测激光器输出波长为λ<sub>x</sub>的激光经过偏振片形成线偏振光,射向e轴与线偏振光的偏振方向成45°角的四分之一波片后形成圆偏振光,该圆偏振光由单频正交线偏振光组成,射向两套迈克尔逊干涉仪后,形成水平偏振分量和垂直偏振分量的干涉信号,分别由各自的光电探测器接收;(2)首先测量角锥棱镜不动,通过PZT驱动器调制参考角锥棱镜在5μm行程内往返运动,由相位差测量模块测得λ<sub>x</sub>垂直偏振分量的干涉信号和λ<sub>x</sub>水平偏振分量的干涉信号的相位差<img file="FDA0000374470010000011.GIF" wi="126" he="76" />PZT驱动器停止调制;(3)然后测量角锥棱镜移动ΔL=100mm,由双向计数模块测得λ<sub>x</sub>水平偏振分量干涉信号变化的整周期数N;(4)再次调制参考角锥棱镜在5μm行程内往返运动,由相位差测量模块测得λ<sub>x</sub>垂直偏振分量的干涉信号和λ<sub>x</sub>水平偏振分量的干涉信号的相位差为<img file="FDA0000374470010000012.GIF" wi="128" he="77" />则λ<sub>x</sub>水平偏振分量干涉信号的小数变化量ε为:<img file="FDA0000374470010000013.GIF" wi="380" he="145" />(5)根据测量角锥棱镜移动的位移ΔL和测得的λ<sub>x</sub>水平偏振分量干涉信号变化的整周期数N及小数变化量ε,得到待测激光波长为:<maths num="0001"><![CDATA[<math><mrow><msub><mi>&lambda;</mi><mi>x</mi></msub><mo>=</mo><mfrac><mrow><mn>2</mn><mo>&CenterDot;</mo><mi>&Delta;L</mi></mrow><mrow><mo>(</mo><mi>N</mi><mo>+</mo><mi>&epsiv;</mi><mo>)</mo></mrow></mfrac></mrow></math>]]></maths>至此求出待测激光器的波长。
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