用于测量超纯水的纯净度的方法与设备

摘要

本发明涉及一种用于分析净化设备出口处的水的纯净度的方法。其包括以下步骤：a)将过滤装置(1)出口处的液体送至电阻率测量单元(4)，以确定其电阻率ρUPW；b)在给定数量的明显不同时间周期过程中，通过将液体的一部分暴露至所述氧化装置(2)而建立基准模式；c)由回归确定该基准模式中所述液体的无穷大的电阻率ρ∞REF；d)通过使得所述将要分析的液体经过电阻率测量单元(4)而建立分析模式；e)通过连续迭代确定该分析模式中的所述液体的无穷大的电阻率ρ∞；以及f)由该无穷大的电阻率ρ∞以及至少ρUPW与ρ∞REF值计算包含在所述液体中的有机化合物的量。

主权项

用于在净化设备的出口处分析存在于液体中的有机化合物的量的方法，所述净化设备包括串联的过滤装置(1)、氧化装置(2)以及精炼装置(3)，并且进一步包括用于测量所述过滤装置(1)的出口处以及所述氧化装置(2)的出口处的液体的电阻率的电阻率测量装置(4)，所述方法包括以下步骤：a)测量所述过滤装置(1)的所述出口处的所述液体的电阻率ρUPW；b)通过将所述液体的一部分暴露于所述氧化装置(2)预定数量的明显不同的时间周期，并且测量其暴露于所述氧化装置之后所述液体的相对应的电阻率值而建立基准模式；c)通过建立并且通过回归将其电阻率ρ表示为时间t的函数的公式而在所述基准模式中确定所述液体在无穷大处的电阻率ρ∞REF，所述公式包括至少一个指数函数ρ＝ρ∞REF+(ρUPW‑ρ∞REF)e‑t/T，T为时间常数；d)通过将待分析的所述液体经过电阻率测量装置(4)中的一个而建立分析模式，以确定其在所述氧化装置(2)的所述出口处的电阻率ρm；e)由在所述氧化装置(2)的所述出口处测量的所述电阻率ρm、所述过滤装置(1)的所述出口处的所述液体的所述电阻率ρUPW以及在所述基准模式中评估的在无穷大处的电阻率ρ∞REF来确定所述液体的纯净度；其特征在于，确定所述纯净度的所述步骤e)包括以下子步骤：‑确定在所述步骤c)中建立的所述指数函数的时间常数T；‑通过连续迭代直至无穷大处的电阻率ρ∞收敛而确定所述分析模式中所述液体的在无穷大处的电阻率ρ∞，通过包括至少一个指数函数的公式ρm＝ρ∞+(ρUPW‑ρ∞)e‑t/T，t为迭代变量，并且通过朝向无穷大改变所述迭代变量t，将所述测量的电阻率ρm表示为在无穷大处的电阻率ρ∞的函数；‑由在无穷大处的该电阻率ρ∞确定包含在净化的所述液体中的有机化合物的量。