发明名称 DEVELOPER COMPOSITION FOR RESISTS AND METHOD FOR FORMATION OF RESIST PATTERN
摘要
申请公布号 EP1634126(B1) 申请公布日期 2013.11.27
申请号 EP20040736591 申请日期 2004.06.10
申请人 TOKYO OHKA KOGYO CO., LTD. 发明人 WASHIO, YASUSHI;SAITO, KOJI
分类号 G03F7/32;H01L21/027 主分类号 G03F7/32
代理机构 代理人
主权项
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