| 摘要 |
<p>La presente se refiere a un procedimiento para la puesta a disposición de pulsaciones de potencia para cátodos de pulverización de PVD que están subdivididos en cátodos parciales, eligiéndose los intervalos de pulsaciones de potencia efectivos en los cátodos parciales de manera tal que se superponen, con lo que se logra que no es necesario interrumpir la toma de potencia desde el generador que pone a disposición la potencia. El procedimiento comprende los pasos de: a) puesta a disposición de un generador con una potencia entregada, b) acople del generador, c) conexión del primer cátodo parcial al generador, d) separación del generador y primer cátodo parcial, e) conexión del segundo cátodo parcial al generador, f) separación del generador y segundo cátodo parcial. Los pasos d) y e) se llevan a cabo de manera tal que el primer y segundo intervalo de pulsaciones de potencia se superponen en el tiempo y todos los intervalos de pulsaciones de potencia forman un primer grupo de tal manera que la potencia entregada por el generador sea continua y no se presente un segundo intervalo de crecimiento gradual de potencia.</p> |
