离线增反镀膜玻璃及其制造方法

摘要

本发明公开了一种离线增反镀膜玻璃，包括玻璃基片，玻璃基片上设有依次设有钛的氧化物TiOx、氧化钛TiO2、硅的氧化物SiOx、氧化硅SiO2；离线增反镀膜玻璃的制备方法为：在双端离线高真空磁控溅射镀膜设备中，使其基础真空达到10ֿ³Pa，线速度为1.5米/分钟时，在玻璃上依次溅射钛的氧化物TiOx、氧化钛TiO2、硅的氧化物SiOx、氧化硅SiO2。本发明具有使用靶材成本低，能够实现高折射率效果的优点。

主权项

一种离线减反镀膜玻璃，包括玻璃基片，其特征在于：所述玻璃基片上依次设有硅的氧化物SiOx、氧化硅SiO2、钛的氧化物TiOx、氧化钛TiO2，所述玻璃基片的厚度为3mm～15mm，所述硅的氧化物SiOx的厚度为35nm～45nm，所述氧化硅SiO2的厚度为30nm～40nm，所述钛的氧化物TiOx的厚度为25nm～35nm，所述氧化钛TiO2的厚度为25nm～32nm。