布线基板

摘要

提供保护膜与布线膜的密合性高的布线基板。本发明中，通过包含聚酰亚胺的保护膜(17a、17b)保护具有铜薄膜(11a、11b)的布线膜时，在布线膜的与保护膜(17a、17b)接触的部分设置锌薄膜(15)。即使不增加剥离强度，镀金薄膜(18a、18b)的镀金液也不会侵入到保护膜(17a、17b)与锌薄膜(15)之间。

主权项

1.布线基板，其具有：基板，配置在所述基板上、形成了图案的金属布线膜，和与所述金属布线膜密合配置的包含聚酰亚胺树脂的保护膜，在所述保护膜的所述金属布线膜上的位置形成部分地除去了所述保护膜的除去部，在所述除去部的底面形成所述金属布线膜露出的露出部分，其中，对于与所述露出部分连接的所述金属布线膜，至少在其与所述保护膜之间的部分的表面上设置锌薄膜，所述金属布线膜的所述锌薄膜与所述保护膜密合，所述保护膜是通过加热将含有聚酰亚胺树脂的保护膜原料液聚合固化而形成的，所述聚酰亚胺树脂为将含有下式(1)所示的含酰胺基的硅氧烷二胺化合物的二胺成分，和含有选自均苯四酸二酐、3,3’,4,4’-二苯甲酮四羧酸二酐、3,3’,4,4’-二苯基醚四羧酸二酐、3,3’,4,4’-二苯基砜四羧酸二酐、2,2’-双(3,4-二羧基苯基)丙酸二酐、1,4,5,8-萘四羧酸二酐、4,4’-(六氟异亚丙基)二酞酸二酐、9,9-双(3,4-二羧基苯基)芴酸二酐、9,9-双[4-(3,4-二羧基苯氧基)苯基]芴酸二酐和1,2,3,4-环丁酸二酐中的至少一种芳香族酸二酐的酸二酐成分酰亚胺化而成，[化9]式(1)中，R¹和R²分别独立地为可以被取代的亚烷基，m为1～30的整数，n为0～20的整数。