| 摘要 |
Магнетронная распылительная система сбалансированного типа, содержащая расположенные в вакуумной камере анод и катодный узел, включающий мишень и магнитный блок, отличающаяся тем, что она снабжена электродом, выполненным в виде сетки из тугоплавкого металлического материала, рабочий потенциал которой равен потенциалу катода и расположенной по отношению к аноду со стороны, противоположной катодному узлу, при этом расстояние между анодом и сеткой больше расстояния, при котором между сеткой и анодом возможен электрический пробой. |
