台系统校准方法、台系统和包括这样的台系统的光刻设备

摘要

本发明公开了一种台系统校准方法、台系统和包括这样的台系统的光刻设备。其中台系统包括编码器测量系统，所述编码器测量系统包括编码器网格和与所述编码器网格协同工作的至少两个传感器头，每个传感器头提供了表示在水平方向和垂直方向上的位置灵敏度的传感器头输出信号，所述方法包括：a)移动所述台，使得所述传感器头相对于所述编码器网格被移动，反之亦然；b)在所述移动期间，通过所述两个传感器头测量所述台相对于所述编码器网格的位置；c)由所述传感器头的传感器头输出信号确定垂直位置数据分布图；d)由所述垂直位置数据分布图计算水平位置数据分布图；和e)利用所述已计算的水平位置数据分布图，校准所述编码器位置测量系统。

主权项

一种用于校准台的编码器位置测量系统的校准方法，所述编码器位置测量系统包括编码器网格和与所述编码器网格协同工作的至少两个传感器头，每个传感器头提供了表示在水平方向和垂直方向上的位置灵敏度的传感器头输出信号，所述方法包括步骤：移动所述台，使得所述传感器头相对于所述编码器网格被移动或所述编码器网格相对于所述传感器头被移动；在所述移动期间，通过使用所述编码器网格和所述传感器头测量所述台的位置；由所述传感器头的传感器头输出信号确定垂直位置数据分布图；由所述垂直位置数据分布图计算水平位置数据分布图；和根据所述已计算的水平位置数据分布图，校准所述编码器位置测量系统。