基板处理装置和基板处理装置中的异常显示方法

摘要

本发明提供一种基板处理装置和基板处理装置中的异常显示方法，基板处理装置包括具有操作画面的操作部和控制部，该操作画面至少显示输送基板的基板输送机构或处理该基板的基板处理机构的状态，控制部包括控制基板输送机构的输送系统控制器，操作部具有设定检测基板输送机构或基板处理机构的状态的传感器的检测条件、以及包括对基板输送机构有无转矩控制或转矩控制值的与转矩限制有关的信息的设定画面，输送系统控制器基于来自操作部的指示对输送控制模块指定基板输送机构的工作，输送控制模块根据由操作部指定的指示和与转矩限制有关的信息来控制基板输送机构。能按驱动各输送机构的执行机构来指定设定安全范围的转矩限制值或有无转矩限制功能。

主权项

一种基板处理装置，包括操作部和控制部，其中，上述操作部具有操作画面和设定画面，该操作画面至少显示输送基板的基板输送机构的状态，该设定画面用于设定与转矩限制有关的信息，该与转矩限制有关的信息包含对上述基板输送机构有无转矩控制和进行转矩控制时的转矩控制值，上述控制部包含基于来自上述操作部的指示对输送控制模块指定上述基板输送机构的工作的输送系统控制器，其中，上述控制部根据由上述操作部指定的指示和与转矩限制有关的信息控制上述基板输送机构来输送基板时，在产生异常而上述基板输送机构停止的情况下，上述操作部在上述操作画面上点亮显示表示检测上述基板输送机构和上述基板处理机构的状态的状态检测传感器的检测结果的信号，多个上述状态检测传感器包含振动传感器，表示上述检测结果的信号包含转矩限制实施信号和振动传感器信号。