气体质量流量控制器的传感器

摘要

本实用新型公开了一种气体质量流量控制器的传感器，包括内部设有槽的外壳和设有两个通孔的传感器底座，传感管置于所述外壳的槽内且传感管的两端分别穿过传感器底座上的两个通孔，传感管与传感器底座之间用胶水粘接固定，两组传感丝绕在传感管的中间位置，外壳装在传感器底座上并用螺钉连接固定。电缆线装在外壳内并用胶水粘接固定，两组传感丝与电缆线上的四个端子焊接固定。外壳背面的孔内依次装有第一保温棉和堵块，堵块与外壳之间用胶水粘接固定。外壳的正面依次设有第二保温棉和盖板，盖板与外壳之间用螺钉固定。盖板与传感器底座之间用螺钉固定。结构简单、易于制造、低成本、可靠性高。

主权项

一种气体质量流量控制器的传感器，其特征在于，包括内部设有槽的外壳和设有两个通孔的传感器底座，传感管置于所述外壳的槽内且传感管的两端分别穿过所述传感器底座上的两个通孔，所述传感管与传感器底座之间用胶水粘接固定，两组传感丝绕在所述传感管的中间位置，所述外壳装在所述传感器底座上并用螺钉连接固定。