喷出装置及喷出方法

摘要

本发明涉及喷出装置及喷出方法。本发明提供喷出装置及喷出方法，其构成为，对沿两个导轨移动基板的基板移动部在水平面上的旋转方向的倾斜进行检测并修正。本发明的喷出装置(10)构成为，具有第一、第二主干涉装置(62a)、(62b)、和第一、第二主镜装置(61a)、(61b)，能测定在基板移动部(20)的水平面上的旋转方向的倾斜。基板移动部(20)的移动中，根据该测定结果分别控制两个导轨上的移动量，使所述倾斜与移动开始前相同。喷出装置(10)构成为，具有第一、第二副干涉装置(62c)、(62d)、和副镜装置(61c)，且能测定基板移动部(20)在x轴方向的位置。基板移动部(20)的移动中，通过根据该测定结果控制头(32)的移动并使头(32)与基板移动部(20)的x轴方向的相对位置关系与移动开始前相同，能使从喷出口(35)喷出的喷出液，命中基板(50)上的各命中位置。

主权项

一种喷出装置，具有：台座，相对于基准面静止；第一、第二导轨，在所述台座上沿第一方向配置；头保持部，固定于所述台座，保持分别设置了多个喷出口的头；基板移动部，载置于所述第一、第二导轨，且能配置基板；以及导轨上移动机构，能使所述基板移动部沿所述第一、第二导轨在所述第一方向移动，通过所述头保持部之下，从所述喷出口向配置于所述基板移动部上的基板喷出喷出液，使所述喷出液的液滴命中于所述基板，其特征在于，该喷出装置，具有：第一、第二主送光装置，分别向所述第一方向发送第一、第二主测定光；第一、第二主镜装置，与所述第一方向垂直且在平行于所述基准面的第二方向分开设置，当照射所述第一、第二主测定光时，进行反射而对第一、第二主反射光进行返光；第一主干涉装置，接受所述第一主测定光和所述第一主反射光，对所述第一主测定光与所述第一主反射光的第一主干涉结果进行检测；第二主干涉装置，接受所述第二主测定光和所述第二主反射光，对所述第二主测定光与所述第二主反射光的第二主干涉结果进行检测；测定装置，根据所述第一、第二主干涉结果，分别求出所述第一主干涉装置与所述第一主镜装置之间的第一主距离、和所述第二主干涉装置与所述第二主镜装置之间的第二主距离；以及控制装置，传送给所述测定装置的测定结果，所述第一主干涉装置和所述第一主镜装置中的一个配置于所述基板移动部，另一个相对于所述台座静止，所述第二主干涉装置和所述第二主镜装置中的一个配置于所述基板移动部，另一个相对于所述台座静止，所述第一主干涉装置配置于所述第一主镜装置与所述第一主送光装置之间，所述第二主干涉装置配置于所述第二主镜装置与所述第二主送光 装置之间，所述导轨上移动机构具有：第一移动机构，对所述基板移动部施加对所述第一导轨的第一移动力；以及，第二移动机构，对所述基板移动部施加对所述第二导轨的第二移动力，所述控制装置根据所述第一、第二主距离，决定所述第一、第二移动力的大小。