发明名称 |
一种干法刻蚀坚硬无机材料基板等离子体刻蚀机的电极 |
摘要 |
一种干法刻蚀坚硬无机材料基板等离子体刻蚀机的电极,包括用于与刻蚀腔固定连接的导轨器,所述导轨器内安装有可在其内作升降运动的升降器,所述升降器上固定连接有下电极托盘,所述下电极托盘设置在导轨器的上方,所述下电极托盘包括固定连接的顶盘和底盘,所述顶盘的下部开有圆柱形槽,所述圆柱形槽内固定安装有匀气盘,所述匀气盘与顶盘、底盘之间均设有间隙,所述匀气盘的中心设有将气体通向顶盘的第一通孔,所述第一通孔与冷却气入口连通;所述底盘的底部中心开有第二通孔,所述第二通孔与第一通孔隔离设置,所述第二通孔的底端连接有密封管,所述第二通孔与冷却气出口连通。本发明的有益效果:冷却效果好,从而使刻蚀效果好。 |
申请公布号 |
CN102368466B |
申请公布日期 |
2013.11.27 |
申请号 |
CN201110279593.6 |
申请日期 |
2011.09.20 |
申请人 |
天通吉成机器技术有限公司 |
发明人 |
平志韩;苏静洪;黄成强;汪明刚;陈波;李超波 |
分类号 |
G02F1/133(2006.01)I;H01J37/32(2006.01)I |
主分类号 |
G02F1/133(2006.01)I |
代理机构 |
浙江杭州金通专利事务所有限公司 33100 |
代理人 |
赵芳;徐关寿 |
主权项 |
一种干法刻蚀坚硬无机材料基板等离子体刻蚀机的电极,包括用于与刻蚀腔固定连接的导轨器,所述导轨器内安装有可在其内作升降运动的升降器,所述升降器上固定连接有下电极托盘,所述下电极托盘设置在导轨器的上方,其特征在于:所述下电极托盘包括固定连接的顶盘和底盘,所述顶盘的下部开有圆柱形槽,所述圆柱形槽内固定安装有匀气盘,所述匀气盘与顶盘、底盘之间均设有间隙,所述匀气盘的中心设有将气体通向顶盘的第一通孔,所述第一通孔与冷却气入口连通;所述底盘的底部中心开有第二通孔,所述第二通孔与第一通孔隔离设置,所述第二通孔的底端连接有密封管,所述第二通孔与冷却气出口连通。 |
地址 |
314400 浙江省海宁经济开发区双联路129号 |