微弹簧结构精密传感器

摘要

本发明提出了一种微弹簧结构精密传感器，包括螺帽、基座、MEMS电容传感器、微感应头和引线。其中MEMS电容传感器由下至上依次包括下极板、绝缘介质、微弹簧和上极板；上极板由微弹簧固定在绝缘介质上。当微感应头受力后，驱动内部MEMS电容的上极板和微弹簧，从而改变电容值，最终实现力值到电容值的转化，并获得被测物体的重量。微机械系统有效地改变了设计尺寸，使传感器的尺寸变得更小、更精密。

主权项

一种微弹簧结构精密传感器，其特征在于，包括：螺帽、基座、MEMS电容传感器、微感应头和引线；所述螺帽是由圆柱形侧壁和顶盖构成的下端开口部件，顶盖中间设有通孔；所述基座固定于螺帽下端开口处，基座上设有引线孔；所述MEMS电容传感器位于基座上；所述微感应头位于MEMS电容传感器上方，穿过顶盖的通孔伸出螺帽外，且微感应头与顶盖的通孔无接触；所述引线一端连接MEMS电容传感器，另一端由引线孔引出基座外部。