| 发明名称 | 静电夹具设备和光刻设备 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种静电夹具设备(500)，构造用以支撑光刻设备的图案形成装置(505)，所述静电夹具设备包括支撑结构，所述图案形成装置被抵靠所述支撑结构支撑；用于在支撑结构和图案形成装置之间提供夹持力的夹持电极(525)；和电容传感器阵列(660)，能够操作用以测量所述图案形成装置的形状。 | ||
| 申请公布号 | CN103415811A | 申请公布日期 | 2013.11.27 |
| 申请号 | CN201280011710.3 | 申请日期 | 2012.01.18 |
| 申请人 | ASML荷兰有限公司 | 发明人 | V·班尼恩;E·鲁普斯特拉;T·凯蒂;J·阿克曼斯;L·斯卡克卡巴拉兹;C·L·瓦伦汀 |
| 分类号 | G03F7/20(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人 | 张启程 |
| 主权项 | 一种静电夹具设备，其构造用以支撑光刻设备的图案形成装置，所述静电夹具设备包括：支撑结构，所述图案形成装置被抵靠所述支撑结构支撑；夹持电极，用于在支撑结构和图案形成装置之间提供夹持力；和电容传感器阵列，其能够操作用以测量所述图案形成装置的形状。 | ||
| 地址 | 荷兰维德霍温 | ||