发明名称 |
一种不良芯片筛选方法 |
摘要 |
本发明涉及一种不良芯片筛选方法,包括如下步骤:将共晶之前的芯片放置于载玻片上,再将放置有芯片的载玻片放置于加热台上进行加热处理,待加热完毕将带有芯片的载玻片置于显微镜下进行不良检测,根据检测结果,不合格芯片被筛选剔除,合格芯片进行后续工艺生产。通过本发明的芯片筛选方法,可以将污染或清洁工作处理不当引起的不良芯片筛选剔除,有利于减少芯片在后续工艺中的材料浪费,提高芯片良品率和生产效率。 |
申请公布号 |
CN103406280A |
申请公布日期 |
2013.11.27 |
申请号 |
CN201310382429.7 |
申请日期 |
2013.08.28 |
申请人 |
长贝光电(武汉)有限公司 |
发明人 |
李明 |
分类号 |
B07C5/00(2006.01)I;B07C5/34(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I |
主分类号 |
B07C5/00(2006.01)I |
代理机构 |
北京轻创知识产权代理有限公司 11212 |
代理人 |
杨立 |
主权项 |
一种不良芯片筛选方法,其特征在于,包括如下步骤:步骤1:将共晶之前的芯片放置于载玻片上;步骤2:将放置有芯片的载玻片放置在温度为280℃‑330℃加热台上进行10‑30s加热处理;步骤3:待加热处理完毕,将带有芯片的载玻片放置于显微镜下进行不良检测;步骤4:根据步骤3检测结果,不合格芯片被筛选剔除,合格芯片进行后续工艺生产。 |
地址 |
430074 湖北省武汉市东湖开发区光谷大道108号久阳科技园北楼2-4楼 |