发明名称 一种不良芯片筛选方法
摘要 本发明涉及一种不良芯片筛选方法,包括如下步骤:将共晶之前的芯片放置于载玻片上,再将放置有芯片的载玻片放置于加热台上进行加热处理,待加热完毕将带有芯片的载玻片置于显微镜下进行不良检测,根据检测结果,不合格芯片被筛选剔除,合格芯片进行后续工艺生产。通过本发明的芯片筛选方法,可以将污染或清洁工作处理不当引起的不良芯片筛选剔除,有利于减少芯片在后续工艺中的材料浪费,提高芯片良品率和生产效率。
申请公布号 CN103406280A 申请公布日期 2013.11.27
申请号 CN201310382429.7 申请日期 2013.08.28
申请人 长贝光电(武汉)有限公司 发明人 李明
分类号 B07C5/00(2006.01)I;B07C5/34(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I 主分类号 B07C5/00(2006.01)I
代理机构 北京轻创知识产权代理有限公司 11212 代理人 杨立
主权项 一种不良芯片筛选方法,其特征在于,包括如下步骤:步骤1:将共晶之前的芯片放置于载玻片上;步骤2:将放置有芯片的载玻片放置在温度为280℃‑330℃加热台上进行10‑30s加热处理;步骤3:待加热处理完毕,将带有芯片的载玻片放置于显微镜下进行不良检测;步骤4:根据步骤3检测结果,不合格芯片被筛选剔除,合格芯片进行后续工艺生产。
地址 430074 湖北省武汉市东湖开发区光谷大道108号久阳科技园北楼2-4楼