| 发明名称 | 研磨工件用研磨垫及化学机械研磨装置 | ||
| 摘要 | 本实用新型涉及一种研磨工件用研磨垫及化学机械研磨装置。一种研磨垫，能对具有由平面和曲面组合而成的表面形状的工件实施镜面加工。研磨垫(3)安装在可旋转的研磨台(4)上。工件(W)保持在托架(1)上，并被按压在研磨垫(3)上。研磨垫(3)具有：具有用于研磨工件(W)的研磨面的弹性垫(31)；支承弹性垫(31)的变形自如的基层(32)；以及将弹性垫(31)与基层(32)接合的粘接层(33)。 | ||
| 申请公布号 | CN203305049U | 申请公布日期 | 2013.11.27 |
| 申请号 | CN201320262515.X | 申请日期 | 2013.05.14 |
| 申请人 | 株式会社荏原制作所 | 发明人 | 石井游;伊藤贤也;高桥正三;铃木美加 |
| 分类号 | B24B37/22(2012.01)I;B24B37/00(2012.01)I;B24B37/24(2012.01)I | 主分类号 | B24B37/22(2012.01)I |
| 代理机构 | 上海市华诚律师事务所 31210 | 代理人 | 梅高强;刘煜 |
| 主权项 | 一种研磨垫，用于研磨工件，该研磨垫的特征在于，具有：具有研磨面的弹性垫；支承所述弹性垫的变形自如的基层；以及将所述弹性垫与所述基层接合的粘接层。 | ||
| 地址 | 日本东京都大田区羽田旭町11番1号 | ||