发明名称 |
一种镀膜机坩埚 |
摘要 |
本发明提供一种镀膜机坩埚(1),其特征在于,在所述坩埚(1)内具有导热装置(2),所述导热装置(2)包括一根或多根沿所述坩埚(1)径向设置的径向金属丝或金属条(21),以及一根或多根沿所述坩埚(1)轴向设置的轴向金属丝或金属条(22)。本发明所提供的镀膜机坩埚,新增由金属丝或金属条形成的导热装置,可以更好的传热,使放入坩埚内的有机材料受热温度均匀,达到一个热稳定的状态。并且这种坩埚可以填入较多的材料,提高蒸镀速率,减少开腔填料次数,提高生产效率。 |
申请公布号 |
CN103409720A |
申请公布日期 |
2013.11.27 |
申请号 |
CN201310372062.0 |
申请日期 |
2013.08.23 |
申请人 |
深圳市华星光电技术有限公司 |
发明人 |
邹清华;吴泰必 |
分类号 |
C23C14/24(2006.01)I |
主分类号 |
C23C14/24(2006.01)I |
代理机构 |
深圳汇智容达专利商标事务所(普通合伙) 44238 |
代理人 |
潘中毅;熊贤卿 |
主权项 |
一种镀膜机坩埚(1),其特征在于,在所述坩埚(1)内具有导热装置(2),所述导热装置(2)包括一根或多根沿所述坩埚(1)径向设置的径向金属丝或金属条(21),以及一根或多根沿所述坩埚(1)轴向设置的轴向金属丝或金属条(22)。 |
地址 |
518132 广东省深圳市光明新区塘明大道9-2号 |