发明名称 一种镀膜机坩埚
摘要 本发明提供一种镀膜机坩埚(1),其特征在于,在所述坩埚(1)内具有导热装置(2),所述导热装置(2)包括一根或多根沿所述坩埚(1)径向设置的径向金属丝或金属条(21),以及一根或多根沿所述坩埚(1)轴向设置的轴向金属丝或金属条(22)。本发明所提供的镀膜机坩埚,新增由金属丝或金属条形成的导热装置,可以更好的传热,使放入坩埚内的有机材料受热温度均匀,达到一个热稳定的状态。并且这种坩埚可以填入较多的材料,提高蒸镀速率,减少开腔填料次数,提高生产效率。
申请公布号 CN103409720A 申请公布日期 2013.11.27
申请号 CN201310372062.0 申请日期 2013.08.23
申请人 深圳市华星光电技术有限公司 发明人 邹清华;吴泰必
分类号 C23C14/24(2006.01)I 主分类号 C23C14/24(2006.01)I
代理机构 深圳汇智容达专利商标事务所(普通合伙) 44238 代理人 潘中毅;熊贤卿
主权项 一种镀膜机坩埚(1),其特征在于,在所述坩埚(1)内具有导热装置(2),所述导热装置(2)包括一根或多根沿所述坩埚(1)径向设置的径向金属丝或金属条(21),以及一根或多根沿所述坩埚(1)轴向设置的轴向金属丝或金属条(22)。
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