原子振荡器及制造方法

摘要

本发明提供原子振荡器，其能够缩短制造工序而降低单元成本。该原子振荡器(50)构成为具有：受光元件(PD)(6)，其形成在半导体基板上，具有受光部；气室层(8)，其层叠在受光元件(6)上，且在该受光部的上部形成了具有开口部(8a)的空腔(8b)；封入在空腔(8b)中的气体状的碱金属原子(5)；将开口部(8a)封闭的玻璃盖(透明部件)(4)；发光元件(VCSEL)(1)，其隔着玻璃盖(4)向碱金属原子(5)射出共振光。在受光元件(PD)(6)上具有电极(7)，在玻璃盖(4)上形成有发光元件(1)用的电极(3)。而且，经由发光元件(1)的凸块(2)将发光元件(1)与发光元件(1)用的电极(3)连接。

主权项

一种原子振荡器，其特征在于，该原子振荡器具有：受光元件，其具有受光部；气室层，其层叠在所述受光元件上，且在该受光部的上部形成了具有开口部的空腔；气体状的碱金属原子，其被封入在所述空腔中；透明部件，其叠置在所述气室层上，将所述开口部封闭；以及发光元件，其位于所述透明部件的上方，隔着所述透明部件和所述碱金属原子向所述受光部射出共振光，在所述开口部的上方，所述发光元件利用凸块连接到所述透明部件上。