| 摘要 |
1. Оптическая угловая шкала, состоящая из оптической подложки, по крайней мере, на одной из сторон которой нанесена основная зона, содержащая оптическую угловую структуру, отличающаяся тем, что она дополнительно содержит, по крайней мере, одну оптическую контрольную зону, выполненную в одном технологическом цикле с основной зоной и нанесенную на той же стороне подложки, что и основная зона.2. Оптическая угловая шкала по п.1, отличающаяся тем, что оптическая контрольная зона выполнена в виде дифракционной решетки.3. Оптическая угловая шкала по п.2, отличающаяся тем, что дифракционная решетка выполнена линейной, с периодом Т между штрихамиT≤mελ/ΔW,где m - порядок дифракции решетки, ε - погрешность изготовления оптической контрольной зоны, λ - длина волны света, ΔW- минимально обнаруживаемая величина погрешности волнового фронта дифрагированного на решетке, выраженная в длинах волн света.4. Оптическая угловая шкала по п.2 отличающаяся тем, что оптическая контрольная зона выполнена в виде наложения под прямым углом двух линейных решеток.5. Система контроля погрешности изготовления оптической угловой шкалы, содержащая плоскую эталонную пластину, контролируемую оптическую деталь и интерферометр, выполненный по схеме Физо, регистрирующим карту разности фаз Р(x,y) между плоской эталонной пластиной и контролируемой оптической деталью, отличающаяся тем, что контролируемая оптическая деталь выполнена в виде оптической угловой шкалы, содержащей оптическую контрольную зону, выполненную в виде дифракционной решетки, и установленную последовательно с плоской эталонной пластиной таким образом, что угол βнаклона оптической ко� |
