| 发明名称 | 一体型气相掺杂装置 | ||
| 摘要 | 本实用新型所述的一种一体型气相掺杂装置，是用于直拉法生产易挥发掺杂元素单晶硅生产过程中砷、磷等元素的掺杂，该掺杂装置主要由上部挂件（1）、中部空腔（2）、掺杂导管（5）、石英罩（7）构成；中部空腔（2）内设有一个掺杂导管（5），通过掺杂导管（5）将掺杂元素（4）装入中部空腔（2）内，中部空腔（2）的下端设有与掺杂导管（5）连在一起的石英罩（7）可起到保护硅熔体溅起破坏或污染热屏的作用，同时也可起到阻止掺杂元素（4）的蒸气被真空泵抽走的作用。使用本实用新型，增加了掺杂元素（4）与熔硅的接触时间，提高了掺杂效率，操作方便，安全性能好，克服了现有技术中气相掺杂效率低、掺杂装置易损坏的问题。 | ||
| 申请公布号 | CN203307477U | 申请公布日期 | 2013.11.27 |
| 申请号 | CN201320275201.3 | 申请日期 | 2013.05.20 |
| 申请人 | 洛阳单晶硅有限责任公司 | 发明人 | 令狐铁兵;张明亮;高林育;仝泉 |
| 分类号 | C30B15/04(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I | 主分类号 | C30B15/04(2006.01)I |
| 代理机构 | 洛阳明律专利代理事务所 41118 | 代理人 | 卢洪方 |
| 主权项 | 一体型气相掺杂装置，其特征是：所述的一体型气相掺杂装置主要是由上部挂件（1）、中部空腔（2）、掺杂导管（5）、石英罩（7）构成；其中上部挂件（1）设置在中部空腔（2）的上端与单晶炉上轴连接，掺杂导管（5）的上部设置在中部空腔（2）内，下部连接有石英罩（7）。 | ||
| 地址 | 471009 河南省洛阳市西工区九都路77号 | ||