发明名称 |
一种背栅薄膜晶体管存储器的制备方法 |
摘要 |
本发明属于半导体集成电路技术领域,具体为一种背栅薄膜晶体管存储器的制备方法。本发明主要步骤有:采用重掺杂的P型单晶硅片为衬底,并作为栅的引出电极;采用ALD方法生长Al2O3薄膜,用作存储器的电荷阻挡层;用ALD淀积金属纳米晶,作电荷俘获层;采用ALD的方法淀积SiO2/HfO2/Al2O3叠层结构,用作存储器的隧穿层;采用ALD的方法淀积IGZO薄膜,通过光刻和湿法刻蚀工艺形成有源区,用作导电沟道;通过光刻工艺形成源、漏区域,然后淀积一层金属,并结合lift-off技术,完成源、漏极的加工。本发明能很好地调控沟道的电学特性,提高存储器性能的大面积均匀性,并可改善存储器的数据保持特性和耐受性等可靠性。 |
申请公布号 |
CN102593065B |
申请公布日期 |
2013.11.27 |
申请号 |
CN201210066084.X |
申请日期 |
2012.03.14 |
申请人 |
复旦大学 |
发明人 |
丁士进;崔兴美;陈笋;王鹏飞;张卫 |
分类号 |
H01L21/8256(2006.01)I;H01L21/443(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/8256(2006.01)I |
代理机构 |
上海正旦专利代理有限公司 31200 |
代理人 |
陆飞;盛志范 |
主权项 |
一种背栅薄膜晶体管存储器的制备方法,其特征在于具体步骤如下:(1)采用电阻率为0.008‑0.100 Ω•cm的重掺杂的P型单晶硅片作为衬底,用RCA清洗工艺对硅片进行清洗,然后用氢氟酸去除硅片表面的氧化层;(2)在清洗好的P型单晶硅片上,采用ALD 的方法淀积生长Al2O3薄膜,作为存储器的电荷阻挡层,Al2O3薄膜的厚度为15‑200nm;淀积过程中,衬底温度控制在100‑300 oC之间;生长Al2O3的反应源为三甲基铝和水蒸气;(3)采用ALD的方法在Al2O3薄膜上淀积生长金属纳米晶作为电荷俘获层,淀积温度控制在100‑400oC之间;(4)采用ALD的方法,由下而上依次生长SiO2、HfO2、Al2O3薄膜,以形成SiO2/HfO2/Al2O3的叠层结构薄膜,作为存储器的隧穿氧化层;SiO2、HfO2和Al2O3 薄膜的淀积温度控制在100‑300 oC之间,各单层薄膜的厚度均为1‑10nm; (5)采用ALD的方法,在隧穿氧化层上淀积IGZO薄膜,作为存储器的导电沟道;淀积温度控制在100‑300oC范围内,IGZO薄膜的厚度控制在10‑120nm之间;(6)在IGZO薄膜上旋涂一层光刻胶,并利用光刻的方法形成被光刻胶保护的区域,该区域即为器件的有源区;然后,利用湿法刻蚀对非保护的IGZO薄膜进行刻蚀;刻蚀剂采用浓度为0.01%‑2%的盐酸、硝酸、磷酸或氢氟酸,刻蚀时间为10‑600s;最后,去除光刻胶,形成单个器件的有源区;(7)再旋涂一层光刻胶,利用光刻的方法在光刻胶上形成器件的源、漏极开孔区域;(8)通过电子束蒸发的方法淀积一层厚度为50‑250nm的金属Al或Ag薄膜;(9)采用lift‑off的方法去除光刻胶,形成器件的源、漏电极。 |
地址 |
200433 上海市杨浦区邯郸路220号 |