| 发明名称 |
合成铟镓锌氧化物之方法及使用其形成铟镓锌氧化物薄膜之方法 |
| 摘要 |
本发明系有关于一种合成铟镓锌氧化物之方法及使用其形成铟镓锌氧化物薄膜之方法，其中，合成铟镓锌氧化物之方法系包括：(A)提供一金属酸盐水溶液，此金属酸盐水溶液系包含一锌金属酸盐、一铟金属酸盐、以及一镓金属酸盐；(B)混合此金属酸盐水溶液与一硷性水溶液，以制得一氧化物前趋物；以及(C)加热此氧化物前趋物，以制得一铟镓锌氧化物粉末。 |
| 申请公布号 |
TWI415794 |
申请公布日期 |
2013.11.21 |
| 申请号 |
TW098135888 |
申请日期 |
2009.10.23 |
| 申请人 |
国立清华大学 新竹市光复路2段101号 |
发明人 |
杨雅惠;杨士礼;高振裕;周更生;陈信文 |
| 分类号 |
C01G15/00;B01D3/02 |
主分类号 |
C01G15/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
吴冠赐 台北市松山区敦化北路102号9楼;苏建太 台北市松山区敦化北路102号9楼;林志鸿 台北市松山区敦化北路102号9楼 |
| 主权项 |
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| 地址 |
新竹市光复路2段101号 |
