发明名称 |
基板洗净装置及其方法 |
摘要 |
本发明提供一种基板洗净装置及其方法。本发明揭示基板洗净装置及其方法,其特征在于,相对于与基板的移动方向成正交的方向而倾斜地配置毛刷来对基板进行洗净处理。利用上述特征,提供可提高基板的洗净效率、提高基板的移动安全性、且抑制洗净液漏出至腔室外部的基板洗净装置及其方法。 |
申请公布号 |
TWI416646 |
申请公布日期 |
2013.11.21 |
申请号 |
TW097142567 |
申请日期 |
2008.11.04 |
申请人 |
细美事有限公司 南韩 |
发明人 |
李喆镐;刘殷硕 |
分类号 |
H01L21/67;H01L21/30;B08B1/00 |
主分类号 |
H01L21/67 |
代理机构 |
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代理人 |
詹铭文 台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1;萧锡清 台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1 |
主权项 |
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地址 |
南韩 |