| 摘要 |
记忆媒体储存用以产生资料于曝光设备中所使用的原始图案上之程式，该曝光设备可形成标的图案的影像于基板上，该程式包含决定步骤，用以在主要图案与伴随形成该原始图案的该主要图案的辅助图案之中，只有当该辅助图案插入于该投影光学系统的一物面之中时，根据由该投影光学系统所形成的光强度分布，决定最终辅助图案；以及结合步骤，用以结合该最终辅助图案与该主要图案，以产生资料于该原始图案之上，其中在该决定步骤中，该最终辅助图案系藉由重复用以计算和评估该光强度分布之处理，及用以改变将被插入于该投影光学系统的该物面之中的该辅助图案之处理而决定。 |
