| 摘要 |
一种评估用以分析生产良率的资料价值之方法，包括：利用一分析装置取得一晶圆测试系统量测晶圆所得之晶圆电性资料，量测所得之晶圆电性资料具有多数个资料点，该等资料点对应半导体制程多数个控制变因；转换该等资料点成一距离矩阵，该距离矩阵之矩阵距离呈现该等资料点于该等控制变因下彼此差异之程度；利用二维向量描述该距离矩阵所纪录之样本差异性，并计算其与原距离矩阵的相似度，以其损失讯息为转换误差；计算转换后之二维资料的可判别能力，并以判别错误率描述之；以及以转换误差与判别错误率为惩罚项，转换为一对应该量测所得之晶圆电性资料的价值度。分析人员分析半导体制程的生产良率前，可藉由此价值度评估指标了解其用以分析、探讨生产良率改变变因的资料是否包含影响生产良率改变之讯息，衡量量测所得之晶圆电性资料对于研究目的之可靠性。 |
