摘要 |
一种具有单一贯穿输送梭车之半导体元件测试机台,系由入料臂将入料匣内的待测半导体元件移至贯穿输送梭车的入料承载座,其出料承载座则在交换位置接收由测试臂组件所带来已测完的元件;梭车随后移至使入料承载座对应于交换位置,供测试臂组件将待测元件移至测试座进行测试,且出料承载座则对应移至出料位置供出料臂取出完测品;贯穿输送梭车再度回复原位,让入料承载座回复入料位置承载下批待测元件,出料承载座则同时至交换位置接收完测品。梭车如此往复移动,不仅简化机台输送结构而降低制造成本,也可提升输送效率增加产出,提升机台竞争力。 |