聚焦扫描显微镜的方法与设备

摘要

本发明公开一种用于聚焦扫描显微镜的方法，该方法包括以一次带电粒子束扫描晶片的参考晶粒的第一部位，检测从该部位处发射的二次束，并基于二次束来计算该部位的第一聚焦等级。该方法包括以一次束来扫描晶片的指定晶粒的第二部位，同时调制一次束的焦深，参考晶粒和指定晶粒具有全等的布局，第二部位与第一部位在位置上向量地对应；并检测回应一次束从第二部位处发射的二次束。该方法还包括基于所检测的从第二部位发射的二次束来计算第二部位的第二聚焦等级；以及利用第一和第二聚焦等级来确定第二部位的一次束的准确聚焦。