雷射加工方法及雷射加工装置

摘要

将被金属膜17的表面17a(和加工对象物1之作为雷射光入射面的表面3相对向)反射之雷射光L的反射光照射于矽晶圆11，以形成6列的熔融处理区域131、132中最靠近金属膜17的表面17a之熔融处理区域131。藉此，能使熔融处理区域131形成极接近金属膜17的表面17a。