蚀刻方法及记忆媒体

摘要

本发明之蚀刻方法系藉由电浆而对基板上形成之加氟碳膜进行蚀刻，其包括：藉由含氧处理气体之电浆进行蚀刻之第1阶段；及藉由含氟处理气体之电浆进行蚀刻之第2阶段。