可去除光阻层之组合物

摘要

本发明揭露一种用以去除光阻层之组合物及其使用方法，其包含化学部分以及机械部分。化学部分包含溶解或软化光阻层的化学成分和水，并且机械部分为研磨颗粒。本发明之组合物和采用本发明的使用方法可将知光阻层去除步骤从二步减至一步，使得步骤得到简化、时间得到缩短且成本得到降低。此外，本发明之组合物系使用毒性小、可燃性小之化学物质，且减少了化学成分的用量，使得其与环境更加友善，减少化学废物处理的费用。