应用于感应耦合电浆产生装置之多线圈结构

摘要

本发明系为一种应用于感应耦合电浆产生装置之多线圈结构，其包括：多个C形线圈；以及多个连接件，其中每一个C形线圈皆具有第一端部及第二端部，并且第一端部及第二端部又彼此相对以形成开口，而连接件则连接于任两个C形线圈之间，以改变相邻之二C形线圈间的电流流向。藉由连接件与C形线圈多样性的电性连接变化，以改变流经C形线圈的电流方向，进而使得多线圈结构可产生多种不同形式的感应磁场分布。