用于制造薄膜装置的系统及方法

摘要

一薄膜装置系包括复数个电路组件，其界定薄膜装置的一可操作区，一非图案化通道部分，其配置于复数个电路组件上，及一图案化钝化介电质，其选择性地配置于非图案化通道部分上以电性图案化非图案化通道部分的一主动区。