高级次矽烷组成物及附膜基板之制造方法

摘要

本发明系有关高级次矽烷组成物，其为含有高级次矽烷化合物及溶剂之组成物中，前述溶剂含有，具有1个或2个双键但不具有烷基，仅自碳及氢构成的折射率为1.40至1.51，比介电常数为3.0以下，且分子量为180以下之环状碳化氢而成。本发明之高级次矽烷组成物为，可藉由液相步骤安全形成具有所希望膜厚之良质的膜。