| 摘要 |
本发明系在于使溶解来自光阻剂之有机物之含有羟化四烷基铵之显影废液，与二氧化碳气体反应中和之方法，提供可有效防止在中和时于塔内因抗蚀剂的析出而塞住，可将中和时所析出的抗蚀剂高效率地过滤去除之中和方法为目的。在于达成所关目的之本发明之中和方法，藉由对溶解来自光阻剂之有机物之pH为13以上的含有羟化四烷基铵之显影废液，加入二氧化碳气体中和至pH成11.5以下之含有羟化四烷基铵之显影废液的中和方法，使上述显影废液的pH由13之时点至到达12之时点之二氧化碳气体之添加量，以在于pH为13之时点之显影废液中的含有羟化四烷基铵每1莫耳，0.15L/hr以下进行。 |
