敏辐射线性树脂组成物

摘要

本发明系提供一种敏辐射线性树脂组成物，其系具有作为敏辐射线性酸产生剂之优异功能，含有对于环境或人体之不良影响低的树脂，且可形成可得到高解像性能及良好的光阻图型之光阻被膜，含有以下述通式(1)所示之重复单元的树脂及溶剂；;【化1】;(1);(前述通式(1)中，R1表示氢原子等，M＋系表示特定之阳离子，n表示1~5的整数)。