发明名称 |
半导体处理室的银反射件 |
摘要 |
本发明揭露一在一半导体处理室中由一灯反射辐射的银反射件。此反射件可为一设置于灯管的套管中或灯头之部分。此银可为在套管或灯头上的涂层型式。 |
申请公布号 |
TWI416648 |
申请公布日期 |
2013.11.21 |
申请号 |
TW098105303 |
申请日期 |
2009.02.19 |
申请人 |
应用材料股份有限公司 美国 |
发明人 |
拉尼许乔瑟夫麦克;乔顿凯莉;林德塞马克E;普雷沙米斯查安;贝塔沙吉 |
分类号 |
H01L21/67 |
主分类号 |
H01L21/67 |
代理机构 |
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代理人 |
蔡坤财 台北市中山区松江路148号11楼;李世章 台北市中山区松江路148号11楼 |
主权项 |
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地址 |
美国 |