| 发明名称 |
光阻组成物、利用其以形成薄膜图案之方法，与利用其以制造薄膜电晶体阵列面板之方法 |
| 摘要 |
一种光阻组成物，包含具有下述之线型酚醛树脂，;其中，R1,R2,R3，及R4之每一者系含有氢原子或1至6个碳原子之烷基，且n系范围为0至3之整数；及具有下述之巯基化合物Z1-SH，或SH-Z2-SH，其中，Z1及Z1之每一者系含有1至20个碳原子之烷基，敏化剂，及溶剂。;代表图：第25图 |
| 申请公布号 |
TWI416249 |
申请公布日期 |
2013.11.21 |
| 申请号 |
TW094135665 |
申请日期 |
2005.10.13 |
| 申请人 |
三养社股份有限公司 南韩;三星显示器公司 南韩 |
发明人 |
朴廷敏;柳美善;李羲国;全佑奭 |
| 分类号 |
G03F7/004;H01L21/027;G02F1/1333 |
主分类号 |
G03F7/004 |
| 代理机构 |
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代理人 |
恽轶群 台北市松山区南京东路3段248号7楼;陈文郎 台北市松山区南京东路3段248号7楼 |
| 主权项 |
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| 地址 |
南韩 |
