提供优异的整合属性的低Ｋ前驱物

摘要

本发明关于一种用于制造多孔性有机氧化矽玻璃膜的沉积方法，该方法包含：将包括有机矽烷或有机矽氧烷之一前驱物及与该前驱物不同的造孔原的气态试剂引入真空舱，其中该造孔原本质上为芳族；把能量应用于该舱中的气态试剂以引发该等气态试剂的反应以沉积含有该造孔原的膜；及藉由UV辐射实质移除所有该有机材料以提供细孔及低于2.6的介电常数给该多孔性膜。