一种薄膜电晶体阵列基板及其制造方法

摘要

本发明提供了一种薄膜电晶体阵列基板及其制造方法。该薄膜电晶体阵列基板包括基板，第一金属层，绝缘层，半导体层，第二金属层，钝化层和透明电极层依续形成在该基板上，其中第一金属层至少具有三层铝薄膜，然第二金属层亦可为三层铝薄膜组成，该三层铝薄膜具有不同的膜质致密度且在不同的镀膜参数下形成。因此，本发明至少具有三层铝薄膜不仅具有低电阻率的特性，而且还可以防止铝金属在高温镀膜过程中产生的小丘(hillock)生长的现象。