| 摘要 |
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Veränderung von Abständen zwischen einzelnen Substraten, umfassend mehrfach nebeneinander angeordnete Substrataufnahmen, wobei an einer Konsole (1) eine bewegbare Verstelleinheit (2) angeordnet ist, die zwei im Abstand zueinander parallel und spiegelbildlich zueinander angeordnete Profilführungen (3, 3a) aufweist, in den Profilführungen (3, 3a) mindestens zwei jeweils mit einer Substrataufnahme (9) verbundene Führungsglieder (6) angeordnet sind, zwischen denen paarweise, jeweils gegenüberliegend in den Ausnehmungen (11) der Profilführungen (3 bzw. 3a (Stellglieder (7) positioniert sind und, die äußeren Führungsgliedern (6) mit Rückstellvorrichtungen (8) verbunden sind und an der Konsole (1) Komponenten (4, 10) vorgesehen sind, mit denen die Bewegung der Profilführungen (3, 3a) derart realisiert wird, dass die Stellglieder (7) eine stufenlose Abstandsveränderung zwischen den Führungsgliedern (6) herbeiführen.
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