Infrarot-Sensorvorrichtung und Verfahren zur Herstellung einer Infrarot-Sensorvorrichtung

摘要

Die Erfindung schlägt eine Infrarot-Sensorvorrichtung (100; 200; 300) vor, aufweisend ein Halbleitersubstrat (1), wenigstens ein im Halbleitersubstrat (1) mikromechanisch ausgebildetes Sensorelement (2), und wenigstens ein im Halbleitersubstrat (1) mikromechanisch ausgebildetes Kalibrierungselement (3) für das Sensorelement (2), wobei auf dem Halbleitersubstrat (1) im Bereich des Sensorelements (2) und des Kalibrierungselements (3) Absorbermaterial (6) angeordnet ist, wobei im Halbleitersubstrat (1) im Wesentlichen unterhalb des Sensorelements (2) und im Wesentlichen unterhalb des Kalibrierungselements (3) jeweils eine Kaverne (8) ausgebildet ist, wobei mittels der Kavernen (8) das Sensorelement (2) und das Kalibrierungselement (3) vom übrigen Halbleitersubstrat (1) thermisch und elektrisch getrennt sind. Dadurch wird für die Infrarot-Sensorvorrichtung eine hohe Sensitivität, eine Kalibrierungsfunktionalität für das Sensorelement und eine hohes Signal-Rauschverhältnis erreicht.