电感及其形成方法、集成无源器件及其形成方法

摘要

一种电感及其形成方法、集成无源器件及其形成方法。所述电感的形成方法包括：提供半导体衬底；在所述半导体衬底上形成第一介质层；在所述第一介质层上形成金属层；在所述金属层上形成掩膜层，所述掩膜层中形成有第一开口和第二开口，所述第一开口的尺寸大于所述第二开口的尺寸；沿所述第一开口和所述第二开口刻蚀所述金属层，至暴露出位于第一开口下方的所述第一介质层，以及于第二开口底部剩余预定厚度的金属层；去除所述掩膜层。本发明提高了电感在交流电路各频率中的品质因数，电感品质因数的峰值更大，自共振频率更大，包括所形成电感的集成无源器件的性能更好。

主权项

一种电感的形成方法，其特征在于，包括：提供半导体衬底；在所述半导体衬底上形成第一介质层；在所述第一介质层上形成金属层；在所述金属层上形成掩膜层，所述掩膜层中形成有第一开口和第二开口，所述第一开口的尺寸大于所述第二开口的尺寸；沿所述第一开口和所述第二开口刻蚀所述金属层，至暴露出位于第一开口下方的所述第一介质层，以及于第二开口底部剩余预定厚度的金属层；去除所述掩膜层。